GA-360E analyseur de gaz traces-très basses teneurs
Vue d'ensemble
Les séries GA-360E/F360E sont un groupe d’appareils qui permettent la mesure et l’enregistrement, en continu, à hautes sensibilité et précision, de traces d’impuretés contenues dans les gaz (N2, O2, He, H2 et Air) utilisés dans les process de fabrication des semi-conducteurs.
Utilisant la méthode dite de « cross-modulation » (alternance rapide mesure/référence), les séries GA-360E/F360 n’ont aucune dérive du zéro, et fournissent des valeurs de mesures stables dans le long terme.
Un rack 19’’ facilite les « upgrades » éventuels (mise à jour, rajouts ou compléments après coup).
Les analyseurs des séries GA-360E/F360 conviennent très bien pour les usines de production des gaz pour les semi-conducteurs.
Fonctions
- Les analyseurs GA-360E/F360 peuvent analyser 2 composants au maximum parmi CO, CO2et CH4, et peuvent afficher simultanément les concentrations des 2 composants sélectionnés.
- Les analyseurs GA-360E/F360 utilisent la méthode dite de « cross-modulation » (alternance rapide mesure/référence), et n’ont donc, de ce fait, aucune dérive du zéro, ce qui permet d’avoir des valeurs affichées en continu stables dans le long terme.
- L’absence de besoin d’ajustement optique facilite la maintenance.
- Une fonction d’auto-enregistrement du débit (et de la pression), une vanne électromagnétique pour arrêt instantané, un avertisseur d’incendie accidentel (GA-360E), et des systèmes d’alertes sur l’alimentation électrique préviennent rapidement les utilisateurs de tout dysfonctionnement.
Fabriqué par HORIBA
Caractéristiques
Principes de mesure :
GA-360E : pour CO et CO2, méthode par absorption infrarouge non dispersive
avec « cross modulation » (alternance rapide mesure/référence) ;
pour CH4, ionisation de flamme avec « Cross modulation » également.
Gaz mesurés : GA-360E : mesure de 2 composants maximum parmi CO, CO2 et CH4.
Gammes de mesures : GA-360E : de 0 à 1 ppm, 0 à 2 ppm, 0 à 5 ppm et 0 à 10 ppm.
