Tutoriel en Ellipsométrie

Ce tutoriel complet présente les principes de l’ellipsométrie et les applications de la technique. Il comprend également des informations sur les technologies de modulation de polarisation utilisées dans les ellipsomètres HORIBA Scientific.

L’ellipsométrie est une technique dédiée à la caractérisation des couches minces qui a des applications dans de nombreux domaines. Cette technique offre des capacités inégalées pour la métrologie des couches minces. Sensible à la présence de surface et d’interface, l’ellipsométrie permet de caractériser les épaisseurs des couches avec une résolution à l’angstrom. Cette technique optique est non destructive et sans contact.