UVISEL : Ellipsomètre Spectroscopique couvrant la Gamme 190 – 2100 nm

Vue d'ensemble

Ellipsomètre Spectroscopique idéal pour la Recherche et le Développement

L’ellipsomètre spectroscopique UVISEL permet la caractérisation avancée de structures multicouches en déterminant principalement les épaisseurs et constantes optiques (n,k) des couches. Il peut couvrir une gamme spectrale très large de 190 à 2100nm, peut être entièrement automatisé et offre de nombreux accessoires.

Intégrant une technologie à modulation de phase, l’UVISEL détermine avec grande précision les angles ellipsométriques (Ψ,Δ) conférant la meilleure sensibilité aux applications avancées telles que les couches et interfaces ultra-minces, les couches à faible contraste d’indice, et les couches déposées sur substrats transparents.

Piloté par le logiciel DeltaPsi2, l'interface utilisateur est simple et intuitive. Le plateforme logiciel intègre l'acquisition, la modélisation et la génération de rapports de résultats. Les fonctions avancées de modélisation permettent de caractériser une grande variété de structures en couches minces et de matériaux.

La modularité et les performances de l'UVISEL en font un ellipsomètre de choix pour la recherche scientifique et le développement de procédés.

Fonctions

Avantages

  • Précision, sensibilité et résolution des mesures
  • Large gamme spectrale : 190 - 2100 nm
  • Conception modulaire
  • Logiciel DeltaPsi 2 pour la mesure, la modélisation et les rapports d'analyse

Informations obtenues

  • Epaisseur des couches minces de 1 A à > 45 µm
  • Constantes optiques (n,k) pour les couches isotropiques, anisotropiques et à gradient
  • Interface et rugosité de surface
  • Propriétés optiques dérivées (coefficient d'absorption α, bandgap Eg)
  • Propriétés des matériaux : composition des alliages, porosité, cristallinité, morphologie, uniformité
  • Matrice de Mueller
  • Dépolarisation

Fabriqué par HORIBA Scientific

Caractéristiques

The UVISEL spectroscopic ellipsometer is available in 4 configurations:

                 190nm UVISEL Extended Range 2100 nm

245 nm UVISEL NIR 2100 nm

210 nm UVISEL VIS 880 nm


190 nm UVISEL FUV 880 nm

       


UVISEL Specifications

  • Spectral range: 190-880 nm │ 210-880 nm │245-2100 nm │ 190-2100 nm
  • Detection: High resolution monochromator coupled to sensitive detectors or 32/64 multiwavelengths system for fast acquisition

Manual Configuration

  • Spot size: 0.08 – 0.1 – 1 mm (pinhole); 50µm FWHM on request
  • Sample stage: 150 mm, manual height (4mm) and tilt adjustment
  • Goniometer: Manually adjustable angle from 55° to 90° by step of 5°

Automatic Configuration

  • Manual or automated spot size: 0.08 - 0.1 - 1 mm or 0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm (pinhole)
  • Automation sample stage: 200x200mm, 300x300 mm XY sample stage, manual height (4mm) and tilt adjustment, XYZ sample stage, theta stage
  • Automatic goniometer: Automatically adjustable angle from 40° to 90° by step of 0.01°

Integrated Goniometer

  • Manual angle of incidence: 35° to 90° by 5° step
  • Sample holder: 150mm, 20mm manual z height adjustment
  • Autocollimation system for sample alignment in option
  • Dimension: width: 25cm; height: 35cm; depth: 21 cm

In situ configuration

  • Mechanical adaptation: CF35 or KF40 flanges
  • Easy swith between in-situ and ex-situ configurations
  • More information

Options

  • Accessories: temperature controlled cell, liquid cell, electrochemical cell, reflectometry module to measure reflectance at 0° incidence, and more
  • Spectroscopic reflectometer: 450-850nm, spot size 10µm
  • Vision: CCD camera
  • More information

Performance

  •  Accuracy: Ψ= 45°±0.02° and Δ=0°±0.02° measured in straight-through air configuration 1.5 – 5 eV
  • Repeatability: NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm): d ± 0.1 % – n(632.8nm) ± 0.0001

Brochures

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