Auto SE

Vue d'ensemble

Avec l’Auto SE , Mesurer vos couches minces simplement !

Auto SE, Simple Thin Film Measurement ToolL’Auto SE est un système unique complètement automatisé et très simple d’utilisation, pour la mesure des couches minces.

L’analyse non destructive de l’échantillon s’effectue en quelques secondes via un logiciel presse-bouton, et délivre un rapport automatique d’analyse qui inclut : les épaisseurs des couches (de 1 Angstrom à 15 µm), les propriétés optiques, les rugosités de surface, la détection des interfaces et des inhomogénéités de couches (gradient, anisotropie).

L’Auto SE inclut de nombreuses fonctions d’automatisation, telles que porte échantillon XYZ  motorisé, un système de vision unique MyAutoView et une sélection automatique de huit tailles de spot.

Il offre également un large choix d’accessoires permettant des conditions expérimentales variées, ainsi que la mesure d’une grande diversité d’échantillons.

Intégrant des outils d’auto-diagnostique, l’Auto SE garantit une efficacité et une productivité optimale.

L’Auto SE convient parfaitement aux besoins de contrôle routinier, des échantillons et composants élaborés en couches minces, de la production industrielle à la recherche scientifique.

Fonctions

  • Facilité d’analyses
  • Système hautement automatisé
  • Un système de vision unique : MyAutoView
  • Une large gamme d’accessoires
  • Système d’auto-diagnostiques

Fabriqué par HORIBA Scientific

Caractéristiques

  • Spectral range: 440-1000 nm
  • Spot sizes: automatic selection >500µm; 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm
  • Detection: CCD – Resolution: 2nm
  • sample stage: vacuum chucks, z height 40 mm
  • Sample viewing: CCD camera - Field of view: 1.33x1 mm – Resolution: 10µm
  • Goniometer: Fixed at 70° - Possible set up at 66° and 61.5°
  • Numerous accessories
  • Measurement time: 1s
  • Accuracy:  NIST 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
  • Repeatability:  NIST 15nm ± 0.2 Å