Mシリーズ/750シリーズ

研究開発用途に最適な、高精度・高分解能な大型モノクロメータ

大気汚染監視用浮遊粒子状物質(SPM)濃度測定装置 APDA-370

大気汚染監視用浮遊粒子状物質濃度測定装置APDA-370は、JIS B 7954「大気中の浮遊粒子状物質自動計測器」に規定されたβ線吸収法に基づく装置です。長期安定性を確保する自己診断機能のほか、捕集効率の高いふっ素樹脂テープろ紙の対応も可能です。

一酸化炭素(CO)濃度測定装置 APMA-370

CO濃度測定装置APMA-370は、JIS B...

オゾン(O3)濃度測定装置 APOA-370

O3濃度測定装置APOA-370は、JIS B...

BHF monitor image

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

製品画像

生産終了いたしました。後継機種は溶存オゾンモニタHZ-960をご参照ください。

EMGA-920

鉄鋼、新素材、触媒など世界最先端技術の技術開発や品質管理に欠かせない高精度でスピーディな元素分析を実現するツール。ユーザの要望を最大限に反映させた新世代モデル。

煙道排ガス分析装置 ENDA-5000シリーズ

設置面積の縮小はもとより、5成分同時測定には長期安定性に定評のあるクロスモジュレーション方式採用...

光ファイバ式薬液濃度モニタ CS-100F1シリーズ

実現! インライン・マルチモニタリング。

マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

FPM Monitor / CS-153

CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

堀場製作所
カスタマーサポートセンター

フリーダイヤル 0120-37-6045
受付時間:
9:00~12:00/13:00~17:00
月曜日~金曜日(祝日をのぞく)