分子の吸光・発光に基づく分析法

研究開発用途に最適な、高精度・高分解能な大型モノクロメータ

JIS B 7954「大気中の浮遊粒子状物質自動計測器」に規定されたβ線吸収方式に基づく装置です。

原理：

JIS B 7951「大気中の一酸化炭素自動計測器」に規定された非分散形赤外線吸収方式（NDIR）に基づく測定装置です。ミルクパウダーなどの防塵防爆管理、バルクガス管理や燃焼器具排ガス測定に活用できます。

原理：

JIS B 7957「大気中のオゾンおよびオキシダントの自動計測器」に規定された紫外線吸収方式（NDUV）に基づく測定装置です。食品工場などのオゾン管理、プリンタなどでの発生O₃量確認や文化財の保存環境に活用できます。

原理：

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

生産終了いたしました。後継機種は溶存オゾンモニタHZ-960をご参照ください。

鉄鋼、新素材、触媒など世界最先端技術の技術開発や品質管理に欠かせない高精度でスピーディな元素分析を実現するツール。ユーザの要望を最大限に反映させた新世代モデル。

煙道排ガス中の最大5成分(NOx/SO₂/CO/CO₂/O₂)を1台で同時測定が可能な装置です。脱硝装置入口の窒素酸化物（NOx）監視や、脱硝装置の出入口の二酸化硫黄（SO₂）, 酸素（O₂）監視など発電所などに導入されている排ガス処理のプロセスコントロール用装置として使用できます。

原理：

実現！　インライン・マルチモニタリング。

マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

CS-153は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。酸化膜とともに金属不純物を除去するために使われるFPM溶液(HF/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりFPM溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。