電気化学反応に基づく分析法

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

電力用ボイラをはじめ、パッケージボイラ、工業炉および各種燃焼装置の煙道内にプローブを挿入し、酸素濃度を測定する装置です。

原理：

HORIBAの溶存酸素計OM-51ハンディタイプは水溶液中の溶存酸素濃度(DO)と酸素濃度(O2)、飽和酸素濃度(SAT.RATIO)そして温度を測定する溶存酸素計です。

メタルダイヤフラム、メタルO-リングを内蔵した高速応答ピエゾアクチュエータ―バルブ

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ

上水施設や上水管・給水管末箇所などに設置し、毎日の検査項目を自動監視します。

マルチガス分析計VA-5000シリーズは、CCUS、バイオマス発電、燃料電池・触媒評価など、カーボンニュートラルな社会の計測・分析ニーズに貢献します。

原理：

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。