Analysis based on
デジタルオートプレッシャレギュレータ UR-Z700 Series
概要
高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。
オールメタル構造(接ガス部)、デッドボリュームフリーの構造を採用し、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等の安定した圧力制御が行えます。外部信号による遠隔操作が可能で、総合的な性能評価を必要とするガスセンサーや耐圧評価システム等の総合的なガスの制御を必要とするシステムへの搭載に最適です。
特長
- ピエゾバルブと圧力センサを搭載し、瞬時の圧力変造においても安定した圧力制御が可能
- 高速応答:0.5秒以内
- 取付姿勢が自由はフリーマウントデザイン
- 一次側制御タイプ(-Bタイプ)、二次側制御タイプをラインアップ
- ゲージ圧タイプ、絶対圧タイプより選択可能
- デジタル/アナログ通信、DeviceNet™通信対応
- RoHS指令対応
- オールメタル構造のウルトラクリーン対応モデル
構成例・用途例
製造会社: HORIBA STEC
アプリケーション
幅広い産業でご使用いただいています
- 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング
- 一般産業:バーナーガス制御、雰囲気ガス制御、混合ガス発生、通気量計測
- 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器
- ラボ:各種実験用ガス流量制御機器、サンプリングガス流量制御機器
アクセサリ
マスフローコントローラ/メータ(MFC/MFM)やオートプレッシャーレギュレータ(UR)と各種専用制御・駆動機器をコネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。