CRITERION D500 CRITERIONシリーズに革新モデル新登場

CRITERION D500 紹介ビデオ

 

最先端プロセスを支えるスマートモデル、CRITERION D500新登場!

新機能と高性能を1台に

  • PI機能 (Pressure Insensitive)
    レギュレータレスのガスパネルの構築が可能に。急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載しました。
  • マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
    ユーザーサイドでの「ガス種変更」、「フルスケール流量変更」、「供給圧力レンジ変更」が可能な機能を搭載。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
  • 自己診断機能 In-situ G-Life
    インテリジェントガスパネル構築をご提案。進化したG-Life 機能は短時間:3秒以下(typical)で自己診断が行え、スループットの向上に貢献します。
  • 高精度
    進化した流量計測機構と、多くのプロセスガス流量計測データをベースとした、高度な3次元補正により、プロセスガスでの流量精度を向上しました。
  • 全流量域での応答性能を向上
    応答速度:0.8秒以内
    低流量域からフルスケールまで、全流量域での正確・安定した流量制御を実現。立上り応答とともに、立下りの応答性能を大幅に向上。
  • ワイドレンジ制御
    低流量域における流量精度向上とともに、微少流量制御に対応したピエゾバルブを搭載。0.2~100%F.S.とワイドな制御範囲を可能にしました。この優れた流量制御性能は従来のMFC2台分の流量レンジをカバーし、ガスパネルのダウンサイズ・軽量化に貢献します。

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