オートプレッシャーレギュレータ UR-7300 series

各種プロセスのライン圧力制御に最適圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適

排気圧コントローラ EC series

バイオリアクターの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラ。各種培養プロセスにおける排気圧制御に最適です。

コンパクトベーキングシステム LSC Series

液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。

デジタルオートプレッシャレギュレータ UR-Z700 シリーズ

高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを搭載したデジタルプレッシャレギュレータ。デジタル/アナログ通信モデル、デバイスネット通信モデルをラインナップ。

液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F series

冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。

ダイレクトインジェクション VC Series

ノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。

排気圧コントローラ EC series

高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能制御を実現した排気圧コントローラ

高精度精密膜流量計 SF-1U・2U

気体流量計測・制御機器の流量基準器

高精度精密膜流量計 SF-1U・2U

各種培養プロセスにおける、マスフローコントローラの定期校正に

高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタ(実用新案登録)を組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-Uシリーズ)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不...

高温対応デジタルマスフローコントローラ SEC-8000F/D/E シリーズ

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

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