圧力変化に基づく分析法

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

微少流量から大流量制御に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローコントローラ

上水施設や上水管・給水管末箇所などに設置し、毎日の検査項目を自動監視します。

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。