Analysis based on
オートプレッシャーレギュレータ UR-7300 series
概要
各種プロセスのライン圧力制御に最適
圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能
高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵
ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適
特長
- ウルトラクリーン対応 - オールメタル構造を採用(Mタイプ)
- 高速応答 - 応答速度 0.5sec以内
- マウントフリーデザイン - 取付け姿勢が自由で、電気信号による制御が可能な為、ガス系設計の自由度が大幅に向上します。
- 一次側制御タイプ(-Bタイプ)、二次側制御タイプをラインアップ
- ケージ圧タイプ、絶体圧タイプより選択いただけます
製造会社: HORIBA STEC
仕様
UR-7340 | |
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接ガス部材質 | Mタイプ:SUS-316L |
圧力制御レンジ | 20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A) |
調圧流量 | 1L/min(CV値;0.0032) |
調圧精度 | ±1% F.S.(フルスケール) |
その他 | 一次圧調圧モデルも製作可能です。 |
UR-7350 | |
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接ガス部材質 | Mタイプ:SUS-316L |
圧力制御レンジ | 20-950kPa(G) 10-500kPa(G) 10-300kPa(A) |
調圧流量 | 10L/min(CV値;0.032) |
調圧精度 | ±1% F.S.(フルスケール) |
その他 | 一次圧調圧モデルも製作可能です。 |