Analysis based on
粒子の大きさ・形状に基づく分析法
高い稼働率と長期にわたる安定性で、多くの半導体製造現場から高く評価されているHORIBAの異物検査装置PDシリーズ。そのシンプルで長期安定稼働する搬送系、高スループット、信頼の光学系、さらに誤検出対策機能など高性能の数々を継承し、コンパクトにパッケージングしたのが、レティクル/マスク異物検査装置PR-PD3です。従来機(PR-PD2)と比べて約1/2という小型化を実現するとともに、低ランニングコストを追求。そして0.5μmの検出感度による広い汎用性。レティ...
PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。
レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵／組合せ型
エンジンから排出される固体状粒子のうち、一定の粒径範囲の粒子数（PN）を高精度かつリアルタイムで測定します。ラボ間の移動・移設が容易なコンパクト設計で、研究開発から認証試験まで、幅広く対応します。
ディーゼルエンジン排ガス中のスモークを高精度で測定します。規制に基づくオパシメータ（光透過式スモークメータ）による粒子状物質検査（PM検査）に対応しています。光反射式黒煙測定器に比べ、測定精度や再現性に優れています。
Mini-Crimescope-400W is the most powerful light source in the CrimeScope series and it produces light intensity unmatched by any other forensic light source on the market.
先端マスク検査の大幅コストダウンを実現
高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA...
高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。各種のステッパーケースに対応する最大...
将来規制に向けたSub 23 nm粒子計測ニーズに応え、ご好評いただいているMEXA-2000SPCSシリーズに新ラインナップを追加！