BHF monitor image

CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。

高精度トルク計測・高速応答を実現。同等能力の当社従来機種(DYNASシリーズ交流動力計)の1/4以下という低慣性での試験が可能

エンジンテスト用ACダイナモメータ DYNAS3

エンジン性能テストに最適なACダイナモメータです。エンジン認証や駆動系開発における定常試験および過渡試験に対応します。テストサイクルのシミュレーションやドライバと車両シミュレーションを含む走行抵抗シミュレーションにも対応できます。

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エンジンテスト用ACダイナモメータ DYNAS3 HD(ヘビーデューティ)

きわめて大きなトルクにより、商用車業界で使用される中型及びHeavy Dutyディーゼルエンジンの試験に最適です。全ての機種、コンポーネントは過酷な条件下での使用を想定して開発されています。

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エンジンテスト用ACダイナモメータ DYNAS3 LI(低慣性)

エンジン性能テストに最適なACダイナモメータです。エンジン認証や駆動系開発における定常試験および過渡試験に対応します。テストサイクルのシミュレーションやドライバと車両シミュレーションを含む走行抵抗シミュレーションにも対応できます。

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光ファイバ式薬液濃度モニタ CS-100F1シリーズ

実現! インライン・マルチモニタリング。

マルチバス、ワンバス、枚葉各方式の洗浄装置に対応。

Standard Clean 1 (SC-1) chemical concentration monitor image

CS-131は、半導体製造における洗浄工程のSC-1溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。パーティクルや有機物の除去に使われるSC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)の各成分濃度を常時モニタします。モニタ出力を用いたフィードバック制御を行うことにより、SC-1溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な薬液交換をなくすことができます。また冷却器一体型もラインアップし、広範囲なサンプル温度範囲に対応しました。

Appearance of CS-152, SC-2 monitor

CS-152は、半導体製造における洗浄工程のSC-2溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。金属イオン除去に使われるSC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

SPM Monitor image

CS-150は、半導体製造における洗浄工程のSPM溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。レジスト剥離や有機物の除去に使われるSPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。高速応答、短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

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