自動薄膜計測装置 Auto SE
概要
可視分光エリプソメーターの新機種。膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。
特長
- 非破壊・非接触による測定
- 1nm-15μmの膜厚/光学定数(n,k)を評価
- 単層膜に限らず、多層膜の評価も可能
- 100μm角以下の微小領域の測定に対応
- 厳密な測定スポット位置の確認が可能
- 日本語対応ソフトウェア
- 電動XYZステージを標準搭載し、高速面内分布測定を実現
測定スポット位置の確認例
製造会社: HORIBA Scientific
仕様
光源 | ハロゲンランプおよび青色ＬＥＤ |
|---|---|
波長範囲 | 450nm-1000nm |
スポットサイズ | 500μm X 500μm, 250μm X 500μm, 250μm X 250μm, |
検出器 | 高感度CCD |
サンプルステージ | XYZ電動可変、真空吸着機構、 |
サンプル観察系 | CCDカメラ、ソフトウェアにてスポット位置確認 |
入射角度 | 70度固定(66度固定も選択可) |
操作PC | デスクトップタイプ |
オプション
光源 | Xeランプユニット(100μm以下のスポット使用時に推奨) |
|---|---|
アクセサリ | ＜サンプルセル＞ |
必要ユーティリティ
電源 | AC100V+/-5%未満 |
|---|---|
真空源 | サンプル吸着用(必要なお客様のみ) |