自動薄膜計測装置 Auto SE

概要

薄膜(膜厚)測定で、より簡単に最大の効果を

新しい膜厚測定ツールとして開発された"Auto SE"は、プッシュボタン感覚での薄膜サンプルの自動測定を可能としております。サンプル分析は厚い膜でもわずか数秒で実施でき、膜厚・屈折率・表面ラフネス・膜不均質性などを含む分析結果をレポート形式にて提供いたします。
"Auto SE"は、自動XYZステージ・測定箇所の実時間画像・マイクロスポットが標準搭載されております。
                               自動XYZステージ・測定箇所の実時間画像・マイクロスポットが標準搭載
加えて、トラブルシューティングとして、包括的な操作指示によって、問題の検出が可能な診断指標を内蔵しております。
簡易操作ができ、多くの自動化機能を有する"Auto SE"は、ルーチン的な薄膜測定からデバイスの品質管理までの幅広い用途にご使用いただけます。

特長

  • 非破壊・非接触による測定
  • ミューラー行列全16要素測定による薄膜特性評価
  • カラービジョンシステムによる厳密な測定位置の確認
  • 7種類の電動可変マイクロスポットによる100μm角以下の微小領域測定
  • 電動XYZステージによる高速面内分布測定
  • 初心者でも簡単に測定・評価できる豊富なアプリケーションデータベース
  • 日本語対応の専用ソフトウェア

自動薄膜計測装置(分光エリプソメータ)Auto SEのご紹介
(AutoSEの更に詳しい特長、事例などを紹介しています。)

測定能力

エリプソメトリックパラメータ

総合的なエリプソメトリー/ポラリメトリー

・Psi(Ψ): 0~900  
・Delta (Δ):0~3600
・3 つの量を同時に測定:
sin(2Ψ)sin(Δ), sin(2Ψ)cos(Δ), cos(2Ψ)

・ミューラー行列:全16要素
・異方性材料の評価(1軸性、2軸性)
・偏光解消係数:P、Pgen

ビジョンシステム

カラービジョンシステム“MyAutoViewTM” では、サンプルの微細構造、パターン構造、表面の汚れや異物などを確認しやすい上、表面荒れの状態や程度などの情報も可視的に得ることができます。 これらの情報は、試料のより詳細な結果を得るために、非常に重要となります。

表面が平滑な試料(例)

平均化された中程度の荒れ

測定スポット上に異物がある

傷による大きな表面荒れ

一定方向の研磨傷


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

光源

 ハロゲンランプおよび青色LED

波長範囲

450nm-1000nm

スポットサイズ

500μm X 500μm, 250μm X 500μm, 250μm X 250μm,
70μm X 250μm, 100μm X 100μm, 50μm X 60μm, 25μm X 60μm

検出器

高感度CCD

サンプルステージ

XYZ電動可変、真空吸着機構、
X軸:200mm、Y軸:200mm、Z軸:30mm

サンプル観察系

CCDカメラ、ソフトウェアにてスポット位置確認

入射角度

70度固定(66度固定も選択可)

操作PC

デスクトップタイプ

オプション

光源

Xeランプユニット(100μm以下のスポット使用時に推奨)

アクセサリ

  • 液体測定用セル
  • 透過測定用試料ホルダ
  • フィルム用固定ホルダ

必要ユーティリティ

電源

AC100V+/-5%未満

真空源

サンプル吸着用(必要なお客様のみ)

アプリケーション

  • マイクロエレクトロニクス

     ・酸化膜、窒化膜、酸窒化膜
     ・シリコン膜
     ・ポリマー膜、レジスト膜
     ・強誘電体膜
     ・レーザーダイオード:GaN、AlGaN
  • ディスプレイ

     ・透明導電酸化膜(TCO):ITO、ZnO、SnOなど
     ・シリコン膜:a-Si、p-Siなど
     ・窒化膜、有機膜、ポリマー膜
  • 太陽電池

     ・透明導電酸化膜(TCO)
     ・シリコン膜:a-Si、p-Siなど
     ・窒化膜、有機膜、ポリマー膜
     ・反射防止コーティング膜
  • 機能性材料

     ・光学コーティング:反射防止膜、ミラー/フィルタなど
     ・保護・装飾コーティング:DLC、ポリマー膜、アルミナなど

自動薄膜計測装置(分光エリプソメータ)Auto SEのご紹介
(AutoSEの更に詳しい特長、事例などを紹介しています。)

 

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