Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

高い稼働率と長期にわたる安定性で、多くの半導体製造現場から高く評価されているHORIBAの異物検査装置PDシリーズ。そのシンプルで長期安定稼働する搬送系、高スループット、信頼の光学系、さらに誤検出対策機能など高性能の数々を継承し、コンパクトにパッケージングしたのが、レティクル/マスク異物検査装置PR-PD3です。従来機(PR-PD2)と比べて約1/2という小型化を実現するとともに、低ランニングコストを追求。そして0.5μmの検出感度による広い汎用性。レティ...

SDD検出器 EMAXEvolution x-act

伝統のEMAXシリーズに革命!新型検出器を新たにご提案。

エネルギー分散型X線分析装置 EMAX ENERGY EX-250/350/450

【最新モデル】 エネルギー分散型X線分析装置 EMAXEvolution EX-270/370/470はこちら

 

 電子顕微鏡と組み合わせて微小領域の異物解析、組成分析に最適です。分析業務全体をわかりやすくサポートするフローチャート形式のナビゲータを搭載。高度な機能を使いやすく−これからのX線分析装置の姿です。

レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置 LA-300

粒子径分布測定装置ラインナップ

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当製品は販売を終了し、...

レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置 Partica LA-950V2

世界最速分析。1サンプル60秒測定。分散媒の注入→サンプリング→測定→洗浄→データファイルまでを完璧にこなします。

PR-PD5 Particle detection system

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵/組合せ型

LA-350 photo

試料の湿式分散前処理部と分析部が一体化されたコンパクトなデザインが特徴。迅速且つ効率の良い分析作業を実 現。リサーチラボから製造工場現場まで幅広い場面で安心してお使い頂ける機能を搭載しました。

 

PR-PD2HR Particle detection system

先端マスク検査の大幅コストダウンを実現

高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA...

HORIBA's PR-PD2 Particle Detection System

高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。各種のステッパーケースに対応する最大...

Immersion Pro Probe

A range of fiber optic coupled Raman probe heads for remote analysis. Suitable for immersion and high temperature/pressure conditions.

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