Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

高い稼働率と長期にわたる安定性で、多くの半導体製造現場から高く評価されているHORIBAの異物検査装置PDシリーズ。そのシンプルで長期安定稼働する搬送系、高スループット、信頼の光学系、さらに誤検出対策機能など高性能の数々を継承し、コンパクトにパッケージングしたのが、レティクル/マスク異物検査装置PR-PD3です。従来機(PR-PD2)と比べて約1/2という小型化を実現するとともに、低ランニングコストを追求。そして0.5μmの検出感度による広い汎用性。レティ...

レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置 LA-300

粒子径分布測定装置ラインナップ

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当製品は販売を終了し、...

PR-PD5 Particle detection system

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵/組合せ型

LA-350 photo

試料の湿式分散前処理部と分析部が一体化されたコンパクトなデザインが特徴。迅速且つ効率の良い分析作業を実 現。リサーチラボから製造工場現場まで幅広い場面で安心してお使い頂ける機能を搭載しました。

 

PR-PD2HR Particle detection system

先端マスク検査の大幅コストダウンを実現

高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA...

HORIBA's PR-PD2 Particle Detection System

高スループットで効率的な異物検査・測定を実現。高い稼働率と長期にわたる安定性など、数々の高性能・高機能で多くの半導体製造現場で高く評価されているHORIBAのレティクル/マスク異物検査装置PDシリーズ。長期安定稼動する搬送系、高スループットなどの高性能機能を継承し、さらに独自に開発した信号処理方式により、シリーズ最高感度、最小0.35μmの微細異物検出を可能にしたのが、このレティクル/マスク異物検査装置PR-PD2です。各種のステッパーケースに対応する最大...

Immersion Pro Probe

A range of fiber optic coupled Raman probe heads for remote analysis. Suitable for immersion and high temperature/pressure conditions.

トリプルラマン分光装置 T64000

マルチチャンネルディテクタ(CCD)の性能を十分に発揮させることができるラマン測定モノクロメータ。

X線分析顕微鏡 XGT-7000V

10μmの革命!真空チャンバ(デュアル・バキューム・チャンバ)装備によりサンプル形態・分析目的に合わせ、分析環境を切替、軽元素の高感度分析が可能!高純度Si半導体検出器搭載。

ラマン顕微鏡 XploRA

ラマン顕微鏡XploRA PLUSは、高い操作性を持つ、共焦点顕微ラマン分光装置です。コンパクトなボディにラマン分析で必要な機能を凝縮しました。サブミクロンスケールの空間分解能を持ち、ポイント分析だけでなく、モータステージとの組み合わせによりマッピング測定が可能です。

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