レティクル/マスク異物検査装置 PR-PD2HR

概要

先端マスク検査の大幅コストダウンを実現

高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA PR-PD2HRが登場しました。

従来、主として欠陥検査装置で測定されていたArF用レティクルが、PR-PD2HRで測定でき、検査コストをはじめとした様々な局面におけるコストダウンが可能となりました。半導体製造ラインマスクプロセスの高精度異物検出と効率的運用をサポートします。

特長

  • S/N比3倍以上向上。実用感度大幅アップ。

PR/PD2よりS/N比が3倍以上向上し、実用感度も大幅にアップしました。これにより、より微細なパターンを持つレティクルからの誤検出が低減。従来、欠陥検査装置のみが可能であった先端レティクルパターン面の異物検出がPR-PD2HRで可能となりました。

  • 先端レティクルの測定を実現

先端レティクル検査は、主として欠陥検査装置に委ねられていましたが、実用感度が大幅にアップしたPR-PD2HRでも可能となりました。

  • 先端マスク検査の大幅コストダウンをサポート

・検査に必要なイニシャルコストを大幅に削減します。

・検査時間の大幅な短縮により、レティクル測定枚数が大幅に増加します。

・容易な操作性により、オペレータ人件費や装置の維持・メンテ費用など、ランニングコストも大幅に削減します。

  • ペリクル枠内壁近傍検査が可能
    ビームスポット径を縮小し、プローブ光の走査幅を狭くしたことにより、ペリクル直近まで感度(0.35μm)を落とさず検査が可能。転写不良を起こす可能性のあるペリクル近傍エリアの異物も確実にキャッチします。

  • 各種ステッパーケースに対応する多段ソータ。
    最大10段まで可能な多段ソータは、各種ステッパーケースをはじめSMIF-PODにも対応。複数のメーカーや異なるサイズのステッパーケースが組み合わせが可能です。
  • 簡単な操作で検査条件を設定/測定開始。
    レティクルのサイズ、検査形状、検査エリア検査しきい値など多彩な検査条件を簡単に設定できます。バーコードリーダやRF-IDを使えば、レティクルに対応した検査レシピを選んで自動的に検査を開始します。


▲検査条件設定画面

  • 操作は簡単。DMSでデータ管理も自在。
    レティクルの大きさ、検査の形状、検査表面のエリア、レベルなど多彩な検査条件が設定でき、測定操作はいたって簡単。また、測定結果は異物の大きさによってマッピング表示され、検出操作中に基板上で発見された異物をマトリックスでリアルタイムに表示できます。検査結果はデータベースサーバに保存され、DMS(データ管理ソフト)によってデータ管理、各種レポート出力、使用者条件の設定など多彩な管理が可能。LAN接続によるデータの双方向通信も行えます。


▲Map画面
Map画面では検出した異物のMapを参照したり、異物観察したりできます。結果一覧画面から、Mapボタンを押すと、異物Mapも表示されます。また、目的の異物を指定して、Map横に顕微鏡画面を表示することも可能です。

  • 上下面異物観察機能を装備。(観察倍率多段切替)
    レティクル/マスク面の上側に一個、下側に4個の顕微鏡対物レンズを搭載し、上下面の異物を直接観察できる機能を搭載。上面は440倍の定率、下面は220倍、440倍、880倍、2200倍の観察倍率へと切換えが可能です。

価格

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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製造会社: HORIBA

仕様

測定原理

偏光レーザー散乱方式

測定対象

レティクル/マスク上異物

検出器

光電子増倍管

光源

アルゴンレーザー488nm、10mW

レティクル/
マスクサイズ

5"×5"、6"×6"、厚み2.3〜6.3mm(最大1/4")
(オプション : 3"×5"、7"×7"、Ø7-1/4ホルダー付、230mm)

ペリクル

gライン、lライン、Deep UVに対応可能
厚み:0.865〜2.85μm(±0.2μm)
フレームの高さ:
ガラス面(上面):2.5〜4.0mm
パターン面(下面):2.5〜6.3mm
フレームサイズ:レティクルケースによって異なります。

検出異物サイズ
(※標準粒子換算)

パターン面:0.35μm以上
ガラス面:5μm以上
ペリクル面:10μm以上

検出能力

標準モード:0.35μmの異物を90%以上検出
5回績算検査モード:0.35μmの異物を93%以上検出

異物ランク設定

パターン面:0.25〜10(3段階)
ガラス面:1.5〜30.0(3段階)
ペリクル面:4〜99(3段階)

検査時間

約16分(ロード開始から2面検査のマップ表示まで)
約1分(アンロード開始から終了まで)
(範囲:100mm×100mm/高スループットモード)

検査範囲

形状:正方形、長方形、丸
範囲:
5"×5":10×10〜105×110mm、
Ø10〜Ø105mm
6"×6":10×10〜127×138mm、
Ø10〜Ø127mm
7"×7":10×10〜160×160mm、
Ø10〜Ø160mm(オプション)
実際の測定範囲はレティクルサポートステージやペリクルサイズによって異なります。(7"と230mmはオプション)

検査結果

LCD表示:
マップ:全検査範囲の結果と異物の位置にX-Y座標を置いたメインマップの拡大結果
検査結果:数万件の検査データを保存可能

異物観察

観察方法:LCD画面
拡大倍率:220倍、440倍、880倍、2200倍(下面)、440倍固定(上面)

照明

上面:明視野照明
下面:明/暗視野照明

標準機能

自動検証(スキップ)機能、座標原点設定、傾き補正機能、検査中心設定機能、マップ画面挿入/削除機能、バーコードリーダー(ハードウェアオプション)

オプション機能

ペリクル専用検査、マスクブランク検査、特殊基板サイズ検査、2方向データ通信(GEM又はSECS2)

外形寸法

1710(W)×1544(H)×1365(D)mm

※警報ランプ、ダクトを含む最大幅

質量

約1000kg

ユーティリティー

設備環境

クリーンベンチ:クラス10以上
温度:23±1℃

電源

200/210/220/240V AC±10V(ユーザー指定)
単相 4k VA、50/60Hz

真空源

圧力8.0×104Pa以上、流量50L/min

外形寸法図・他(単位:mm)

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

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