表面分析

可視分光エリプソメーターの新機種。膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。

UVISEL、超薄膜多層サンプルの高感度分析が実現

可視分光エリプソメーターの新機種。膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。

伝統のEMAXシリーズに革命！新型検出器を新たにご提案。

電子顕微鏡と組み合わせて微小領域の異物解析、組成分析に最適です。分析業務全体をわかりやすくサポートするフローチャート形式のナビゲータを搭載。高度な機能を使いやすく−これからのX線分析装置の姿です。...

コンピュータによるフーリエ関数演算を利用した分光法を採用。高感度な赤外スペクトル測定により、測定試料 (有機物) の成分 (官能基)...

rf-GD-OES（GDS）分析装置は、Arプラズマにより試料をスパッタリングさせ、スパッタされた原子を原子発光させることで、元素分析を行う、迅速かつ簡単な表面分析装置・深さ方向元素分析装置として、薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発・生産技術・品質管理の分野において、幅広く活用されています。高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。

LabRAM...

カソードルミネッセンスMP-32S/Mは、サーマルタイプのフィールドエミッションSEMを使用し、今まで不可能だった微少領域における高空間分解能での評価を実現、サブミクロンの壁を突破しました。...

SEMに取付るだけカソードルミネッセンススペクトルを簡単測定。

先端マスク検査の大幅コストダウンを実現

高い稼働率と長期にわたる安定性を誇るレティクル・マスク異物検査装置PDシリーズ。その高性能機能を継承し、さらにS/N比を3倍以上向上、実用感度を大幅に向上させて、シリーズ最新機種HORIBA...

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵／組合せ型...