分光エリプソメーター UVISEL

概要

販売を終了しました。

紫外域~近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISELシリーズは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISELシリーズは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISELLシリーズは、機械的な動作無く、高周波(50kHz)にて偏光変化を採取するための位相変調技術を組み込んでいます。その特徴的な技術によって、以下の特長が得られます:

  • (Ψ、Δ)のすべての値のための高精度測定
  • 紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの素晴らしいS/N比
  • 約60ms/ポイントと非常に速いデータ取得速度
    ~kinetic測定やIn-Situ測定へ最適~

位相変調技術を有するUVISELLシリーズは、回転機構を有する従来のエリプソメーターと比べると、薄膜を評価するために、より高感度、より高精度の測定を実現します。このことは、30μmまでの厚膜層や他のどんなエリプソメーターでもみることのできない薄膜や界面層の検出を可能とします。

UVISELはフレキシブルな構成で、製品特長に記載の波長域が対応可能で、自動化機能とアクセサリーは、ユーザの実験や研究へ対する様々な要求へ合うような能力を有しています。

UVISELLシリーズは、HORIBA Jobin Yvon社のすべての薄膜計測ツールに共通のプラットホームであるDeltaPsi2ソフトウェアによって制御されており、DeltaPsi2ソフトウェアはルーチンや先端研究の薄膜アプリケーションの両方を扱うための自動測定やモデル・パッケージの機能を有しています。

半導体、ディスプレイ、太陽光発電、光学コーティング、光エレクトロニクス、バイオおよび化学などの各分野のアプリケーションにおける、研究、産業、およびQC分析の要求に対して、UVISELシリーズは薄膜構造の高精度な評価法としてベストな解決法を提供します。

特長

  • UVISEL
    波長範囲:210-880nm

    一般的な膜厚測定にご使用いただける標準波長範囲を有したモデル。将来的に近赤外域への拡張が可能。
  • UVISEL NIR
    波長範囲:260-2100nm

    UVISELモデルよりも高分解能を有する分光器を有し、紫外域~近赤外域までの連続測定を実現したモデル。
    検出波長域の異なる2種類の高感度検出器を搭載(測定中は自動切換)。ナローバンドギャップ材料の評価や
    超厚膜測定などに最適。
  • UVISEL FUV
    波長範囲:190-880nm

    高度な光学設計により、素晴らしいS/N比のまま190nmまでの紫外域へ拡張したモデル。将来的に近赤外域へ
    の拡張が可能。SAM膜のような超薄膜測定などに最適。
  • UVISEL ER
    波長範囲:190-2100nm

    UVISEL FUVモデルに近赤外域を拡張し、UVISELシリーズの中で最も広い波長範囲で素晴らしいS/N比を実現
    したモデル。あらゆる応用分野に最適。

波長範囲


製造会社: HORIBA Scientific

仕様

 

UVISEL

UVISEL
NIR

UVISEL
FUV

UVISEL
ER

スペクトル域

標準:210〜880 nm

 

 

 

NIR:260〜2100 nm

 

 

 

FUV:190〜880 nm

 

 

 

ER:190〜2100 nm

 

 

 

機械部品および光学部品

光源

75W
Xe-ランプ

 

 

150W
Xe-ランプ

 

 

サンプル
ステージ

手動
(標準仕様)

〈仕様〉
150mmウェハ対応、XY軸は固定、水平姿勢により安全操作と簡単測定が可能.
〈位置合わせ〉
高さ(20mm)、傾斜、θの手動調節、真空ラインとの接続、オートコリメーションシステム

XY電動
(オプション)

〈仕様〉
可動範囲:200×200mmまたは300×300mm、水平姿勢により安全操作と簡単測定が可能、特注により大型基板用ステージも対応可能.
〈位置合わせ〉
傾斜と高さは4mmまで調節可能、真空ラインとの接続、オートコリメーションシステム、CCDカメラのオプションあり

ゴニオ
メータ

固定
(標準仕様)

入射角度が55°〜75°において5°刻みで設定

電動
(オプション)

入射角度が40°〜90°において0.01°刻みで自動調節可能

電源
(全機種共通)

AC100V±5%、50/60Hz±1Hz、1.5kVA以下、3端子コンセント2口以上

排気
(全機種共通)

ダクト径:Ø100mm、流量:約30m3/h、用途:光源熱排気用

窒素ガス
(FUV、ERタイプ)

流量:4〜6L/min(圧力50kPa以上)、配管径:外形6mm(Ø6mm/4mm配管)
用途:光源パージ用

外形寸法:質量
(UVISELおよびUVISEL FUVタイプ)

本体部:1800(W)×750(D)×1550mm(H)、200kg
PCラック:670(W)×690(D)×1450mm(H)、80kg

標準付属品

PC、モニタ、プリンタ、PCラック、設置台、トランス、定電圧電源

※真空紫外域(142nm〜)対応モデルもございます。

アクセサリ

  • 液体測定用セル
  • 温度可変用セル
  • 電気化学用セル
  • 反射率測定モジュール
  • 回転ステージ  など

アクセサリ詳細ページ 

ソフトウェア

<分光エリプソメーターソフトウェア Delta Psi2>

分光エリプソメーターソフトウェア Delta Psi2

主な機能

  • エリプソメトリックデータの取り込みと解析
  • 最新の解析フィッティング・アルゴリズム
  • 参照用データベース(独自に拡張可能です)
  • ファイル操作を簡単にするためのインポート/エクスポート・パッケージ機能

パワフルなモデル作成機能を搭載

  • 異方性材料
  • ラフネス層や界面層
  • MQWなどの繰り返し層
  • 超薄膜サンプルに対応した独自の解析アルゴリズム(特許取得済)

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