半導体・FPD製造
分光技術とCCD検出器の複合アプローチがICP発光分析を新世代へ導きます。溶液試料の分析や、材料中の微量元素の定量分析に幅広く活用されるICP発光分析装置。ACTIVAシリーズ™は定評あるホリバ･ジョバンイボンの高性能分光器に、CCD検出器を組み合わせることで、今までにない高精度分析と高いフレキシビリティを実現しています。また、光束パターンを2次元像としてリアルタイムにCCD検出器に映し、リアルタイムに処理、プラズマコンディションの最適化や、高速WAVスキ...
各種プロセスのライン圧力制御に最適圧力制御設定信号の入力によりライン圧力の遠隔制御が可能高性能圧力センサとピエゾバルブを内蔵ウルトラクリーン対応のプロセスラインに最適...
CS-137は、半導体ウェットエッチングプロセスの厳しいニーズに対応するため開発された高精度な薬液濃度モニタです。エッチング工程においてシリコン酸化膜のエッチング及びウエハ表面のパーティクル除去のために使われるBHF溶液(NH4F/HF/H2O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングを知らせます。これによりBHF溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な溶液交換をなくすことができます。...
Integrated management with an in-situ real time monitor "DIGI Series" for next-generation thin-film processes