震災および停電の影響などに関しまして、弊社製品の対応について以下のようにご案内いたします。

●停電に対する装置のお取扱い

■レティクル／マスク異物検査装置

型式：PD-3000／PR-PD1、PD-5000／PR-PD2、PR-PD3、PR-PD4

電源ON／OFFを実施される場合は、各装置の取扱説明書にあります項目「測定の前に・電源ON／OFFの方法」（※）をご参照ください。

（※）上記項目は装置によって、項目番号や記載ページが異なりますので、ご注意ください。
なお、電源ON／OFF操作の前に、必ず装置内に測定サンプルが入っていないかご確認ください。

 

■全自動薄膜計測システム

型式：UT-300／FF-1000

オペレーションマニュアル（エンジニア用）の【1.5】電源ON／OFFの項目手順に沿って、作業をお願いします。

 

■薬液濃度モニタ

型式：CS-100／100F1 シリーズ

  1. 装置内部に薬液が停滞した際、PFA配管から腐食性ガスが透過するようなサンプルをご使用の場合は、装置内部（CS-100F1は測定セル部）をDIW（純水）で完全に置換してください。
  2. 装置本体操作部のESC（エスケープ）ボタンを5秒以上押して、内部光学系を出荷ポジションに戻してください。
  3. 装置本体の電源を切ってください。
  4. 再立上げされる際は、測定開始前に十分な暖機時間（1時間）をとってください。

 

■FTIRガス分析計

型式：FG-100A／FT-730G

  1. 遮断前にガスセル内に測定ガスが残留しないようにパージをしてください。
  2. その後、パソコンを接続して使用している場合は、正規の手順に従ってパソコンの電源を切ってください。

 

■上記以外の弊社装置で、パソコンを接続して使用している場合は、正規の手順に従ってパソコンの電源を切ってください。

 

 

お問合せ先について

装置に関するお問い合わせは、弊社営業担当もしくは、下記電話番号までお問い合わせください。
　株式会社 堀場製作所
　電話： 075-325-5004 （半導体営業直通）