従来比10倍、最小0.01µg/Lを検出する高感度シリカモニタ「SLIA-300」を発売

当社は半導体製造プロセスにおける超純水中のシリカ濃度を測定する、高感度シリカモニタ｢SLIA-300｣をこのほど開発、12月1日に発売しました。

測定部に新開発の光ファイバーの原理を応用することで、世界最高レベルである最小検出感度0.01μg/L(従来比10倍)の高感度測定を実現しました。 さらに、従来比1/8の装置小型化と1/5の低ランニングコスト化を達成し、半導体製造の超純水プロセスを強力にサポートします。

今後は半導体分野におけるウェットプロセスからユーティリティー(インフラ)および排水まで、次世代型の計測システムを通じてトータルソリューションを提供していく方針です。

[ 背景 ]
半導体製造プロセスにおいてウエハー上の汚れを取り除く洗浄工程で使用する超純水は、イオン交換樹脂で不純物を取り除くことにより精製されます。このイオ ン交換樹脂が劣化するとシリカがいち早く離脱し、製品の歩留まりが低下する原因となりますので、超純水中のシリカ濃度を常時監視することは製造プロセス安 定化のための大変重要な要素です。

一般的なシリカの連続測定は、試薬による発色を吸光度で計測します。この方法の場合、高感度測定が必要となる微小領域では測定セルを長くする必要がありま すが、セルを長くすると装置が大型化し、温度などの外乱影響も受けやすくなります。また発色試薬の使用量も増えるため、ランニングコストが高いという問題 もありました。

本製品は新開発の｢長光路測定セル｣を採用することでこれらの問題を解決、高感度な測定を可能にしただけでなく、さらに小型化、低ランニングコストを実現しました。

[ 本製品について ]
■新開発の長光路測定セル
光ファイバーの原理に基づき、最小検出感度0.01μg/L(従来比10倍)の高感度化に成功しました。測定セルはステンレス管の中に光透過性に優れた フッ素樹脂チューブを通した2重構造となっています。管の片端から入ってきた光は、フッ素樹脂チューブと周りの空気との屈折率の差により、管内で反射を繰 り返しながら反対側に到達します。この光伝達のメカニズムは、光ファイバーの高効率で妨害要因の少ない原理を応用したもので、検出感度の向上と高い繰り返 し性を実現します。(特許申請中)

■装置小型化の実現
新開発の長光路セルはフレキシブルなチューブ構造であるため、省スペース設計を可能としています。約1mもの長いセルをデスクトップ型のコンパクトボ ディーに収納し、従来比1/8となる装置の小型化を実現しています。また基礎工事が不要なデスクトップ型は様々な設置条件に対応可能で、ワゴンに乗せて移 動式としての使用も可能となっています。

■試薬消費量の低減
セルをチューブ構造としたメリットはランニングコストの低減にも大きな効果があり、発色試薬の消費量を従来比約1/5まで低減しています。

[ 主な特徴 ]
1.世界最高の最小検出感度0.01μg/L　(従来比10倍)
2.デスクトップ型のコンパクト設計　(従来比1/8)
3.安心の低ランニングコスト　(試薬消費量を従来比1/5に削減)

[ 販売目標台数 ]
初年度30台、次年度100台

[ 主な仕様 ]

[ 測定原理 ]
試料水に発色試薬を加え、化学反応によって青色を発色させる。これに光を当てると、シリカ濃度に比例した吸収の強さ(吸光度)を示すため、シリカ濃度がわ かる。試薬の補給を必要とするが、低濃度まで精度良く測定できることから、シリカ測定では一般的に利用されている測定方式。

[ 掲載紙 ]
日経産業新聞　(2004.11.29付　21面)
京都新聞　(2004.11.25付　13面)
日刊工業新聞　(2004.11.25付　6面)