HF-700

2007年12月 2日 - (株)堀場アドバンスドテクノ(本社:京都市、社長:峰野幸弘)は、半導体製造工程におけるエッチング工程後のポリマー残渣除去に効果的な混合薬液中に含まれるフッ酸の濃度を高精度に連続測定する微量フッ酸濃度モニタ「HF-700」の開発を完了し、12月24日から販売を開始します。

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