2006年3月 5日 -
詳細
2004年12月20日 - 当社は半導体製造プロセスにおける超純水中のシリカ濃度を測定する、高感度シリカモニタ｢SLIA-300｣をこのほど開発、12月1日に発売しました。 測定部に新開発の光ファイバーの原理を応用することで、世界最高レベルである最小検出感度0.01μg/L(従来比10倍)の高感度測定を実現しました。 さらに、従来比1/8の装置小型化と1/5の低ランニングコスト化を達成し、半導体製造の超純水プロセスを強力にサポートします。
2004年7月25日 - 小さい・高機能・使いやすい
SLIM48/96シリーズをフルモデルチェンジ
