半導体・FPDウェットプロセス
カーボンセンサ導電率計 高濃度タイプ HE-960HC
概要
半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適
薬液管理や排水管理のパラメータの基本となる導電率計。HE- 960HCは、ワイドレンジを切替せずに測定することが可能です。
また、2種類の濃度換算機能を備えていますので、特定薬品の濃度変化をモニタでき、プロセス濃度計としても使用できます。
特長
- ワイドレンジ対応
- 表示レンジ自動切替
- 多様な温度補償に対応
- 濃度換算機能を搭載
- 耐薬品性カーボンセンサ採用
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
形式 | HE-960HC | ||
|---|---|---|---|
センサ入力 | 1チャンネル | ||
温度センサ仕様 | 測温抵抗体 1000 Ω/0℃ | ||
周囲使用温湿度 | 温度：-5～45℃、湿度：20～85%（結露しないこと） | ||
電源 | AC100～240V ±10% 50/60Hz 20VA(max) | ||
保護構造 | パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部IP00（パネル取付屋内設置型） | ||
質量 | 約550g | ||
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 | ||
組合せセンサ | FES-510シリーズ（流通型4極カーボン導電率センサ） | ||
