半導体・FPDウェットプロセス
カーボンセンサ比抵抗計 HE-960R-GC
概要
ワンバス洗浄システム対応、耐薬品性に優れたガラスカーボンセンサ専用の比抵抗計
ガラスカーボンセンサは金属溶出による汚染がなく、フッ酸や過酸化水素を含むウェット洗浄液に対する耐薬品性が特長です。特に、ワンバス洗浄システムにおけるリンス工程での比抵抗測定が可能ですので、洗浄工程の高品位管理が実現できます。
特長
- 耐薬品性に優れています
- 金属コンタミネーションフリー
- 高速応答性
- 豊富で高精度な温度補償機能
- 鉛フリーはんだを採用
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
型名 | HE-960R-GC |
|---|---|
測定方式 | 電極式 |
電源 | 定格電圧24V DC 5W（max） |
保護構造 | パネル部:IP65（IEC60529、JIS C0920） |
適合規格 | CEマーキング、FCC規則 |
外形寸法 | 96（W）×96（H）×115（D） |
質量 | 約500g |
適合センサ | 比抵抗GCセンサ セル定数0.1/cm |
