半導体・FPDウェットプロセス
溶存オゾンモニタ OZ-96
概要
半導体洗浄プロセスやレジスト剥離プロセスでオゾン水を用いた技術が開発されています。 低濃度から高濃度まで測定範囲をカバーする溶存オゾン濃度モニタです。
特長
- 測定値とパラメータ設定値を同時表示
- 検出器1台で低濃度から高濃度まで測定可能
- DC24V電源（CE対応可）
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
形式 | OZ-96 |
|---|---|
測定対象 | 純水中のオゾン濃度 |
電源 | DC24V 0.5A |
構造 | パネル取付け DIN96×96 屋内設置形 |
外形寸法 | 96（W）×96（H）×145（D）ケース奥行:135mm |
質量 | 約650g |
※本仕様書に記載の内容は、改良のために予告なく変更することがあります。
