半導体・FPDウェットプロセス
TMAH濃度モニタ HE-960H-TM
概要
現像液TMAHの濃度管理に最適
HE-960H-TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分であるTMAH（Tetra Methyl Ammonium Hydroxide）濃度を高精度に測定します。専用センサのFES-510シリーズは、ワイドなレンジ幅を備えた耐薬性の高い製品としてTMAH測定用に最適です。
耐薬品性に優れたカーボンセンサ採用
特長
- ワイドレンジ対応
- 表示レンジ自動切替
- TMAH濃度・導電率・温度の3種類の測定が可能
- 耐薬品性カーボンセンサ採用
- 伝送出力4チャンネル
- DC24V電源
- RoHS対応品
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
形式 | HE-960H-TM |
|---|---|
測定方式 | 導電率測定－濃度換算 |
周囲使用温湿度 | 温度：－5～45℃、湿度：20～85%（結露しないこと） |
電源 | DC24V ±10% 10W（max） |
保護構造 | パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部IP00（パネル取付屋内設置型） |
質量 | 約550g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
適合センサ | FES-510シリーズ（流通型カーボンセンサ） |
カタログ
関連情報
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