半導体・FPDウェットプロセス

フッ酸濃度モニタ <HF-960H>

概要

高濃度域のフッ酸・塩酸などの測定に最適
HF-960Hは、半導体製造プロセスなどに使用されるフッ酸・塩酸濃度を高精度に測定します。専用センサのFES-510シリーズは耐薬品性の高い材質を使用していますので、高濃度域のフッ酸・塩酸管理として最適な構造です。
耐薬品性に優れたセンサ採用

特長

  • ワイドレンジ対応
  • 表示レンジ自動切替
  • HF濃度・HCl濃度・導電率・温度の4種類の測定が可能
  • DC24V電源
  • RoHS対応品

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

形式

HF-960H

周囲使用温湿度

温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)

電源

DC24V ±10%  10W(max)

保護構造

パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)

質量

約550g

適合規格

CEマーキング、FCC Part15

適合センサ

FES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ)

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of HF-960H

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