半導体・FPDウェットプロセス

工業用比抵抗計 <HE-480R(W)>

概要

工業用比抵抗計 HE-480Rは、高精度な温度補償性能を持つ比抵抗計です。
半導体分野をはじめ、電子・食品・医薬品などのさまざまな分野の製造プロセスで使用される超純水の連続モニタリングに最適です。0~100 ℃の範囲で高精度の温度補償を実現しています。

特長

  • 高精度な温度補償
    温度補償素子に白金測温抵抗体(Pt1000Ω)を採用しました。
  • 基準温度の任意設定が可能
    温度補償の基準温度を任意に設定できますので、温純水の測定などプロセス条件に合わせてご使用いただけます。
  • 充実の社内校正設備
    トレーサビリティのとれた校正設備でセンサを検定し、出荷しています。またアフターフォローとして現地校正を行うサポート体制を構築し、校正証明書の発行などバリデーションへの対応も可能です。

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

型名

HE-480R

測定方式

電極式(2電極方式)

セル定数

0.01/cm

温度センサ仕様

白金抵抗体1000Ω/0℃

測定範囲

比抵抗 0〜0.200、0〜2.00、0〜20.00 MΩ・cm
    (0〜2.00、0〜20.0、0〜200.0 kΩ・m)
但し、温度補償なしで100.0MΩ・cm(1000kΩ・m)レンジの測定が可能

温度  0〜100℃(小数点以下なし、1桁、2桁選択表示可)

繰り返し性

±0.5%フルスケール以内(等価入力にて)

直線性

±0.5%フルスケール以内(等価入力にて)

出力

伝送出力:4〜20mA DC 入出力絶縁形

接点出力:警報接点出力(R1、R2)

校正機能

比抵抗、 温度

伝送出力ホールド機能

直前値ホールド、任意値ホールド、連続 より選択設定
(但しメンテナンスモードでは、直前ホールドになります)

自己診断機能

センサ診断、測定範囲外、A/Dコンバータスケールオーバー、

変換器異常

温度補償

  • 超純水の温度特性
  • 基準温度と温度係数任意設定

温度補償範囲

0〜100℃

超純水比抵抗
選択機能

18.23(標準)、18.18、18.24MΩ・cm より選択
(182.3、181.8、182.4 kΩ・m より選択)

クリップ機能

測定値が、設定した比抵抗値から測定レンジ上限の範囲にあるとき、設定した比抵抗値を測定値として表示する

電源

定格電圧100〜 240V AC  50/60Hz  10VA(max)

保護構造

パネル部:IP65(IEC60529,JIS C0920)

適合規格

CEマーキング、FCC規則

外形寸法

48(W)×96(H)×115(D)
ケース奥行:約105mm(パネルマウント時)

質量

約400g

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of HE-480R(W)

関連製品

製品画像

HE-960R-GCは、ガラスカーボンをセンサに用いた比抵抗計です。

2チャンネル比抵抗計 HE-960RW-GC

2箇所の比抵抗を同時測定・同時出力 耐薬品性センサ採用