ポータブルDOモニタ SD-300

概要

ポータブルで高感度だから、使いやすくて高性能
半導体分野における超純水中のDO濃度の高精度測定・モニタを実現

半導体の集積度が増加する傾向から、ウエハの洗浄に用いられる超純水の水質向上が求められています。中でも、超純水に含まれる微量な溶存酸素(DO)はウエハ表面の酸化膜形成の要因といわれ、その低減要望が非常に強くなってきています。そこでHORIBAは超純水中のDO濃度を高精度・高速に測定するDO モニタSD-300を開発。高感度シリカモニタやパーティクルセンサとともにお使いいただける、超純水製造ラインでの水質モニタリングに最適な製品です。またポータブルサイズで持ち運びやすいため、どのような現場にもフィットします。

特長

  • どんな現場でも使いやすいポータブルサイズ
    小型、ポータブル。持ち運びやすいデザインです。
  • ワイドレンジで、かつ高感度な測定を実現
    測定レンジは、0〜20μg/L、0〜200μg/L、0〜2mg/L、0〜20mg/Lの4レンジから選択できます。
  • 高速応答を実現
  • フラットパネルを採用し、クリーンルーム内の使用にも最適
  • センサは内部液交換タイプで長寿命
  • アナログ・シリアル出力を標準装備

■配管接続例


製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

測定対象

溶存酸素

測定方式

隔膜型ポーラログラフ式

測定レンジ

0〜20μg/L , 0〜200μg/L , 0〜2mg/L , 0〜20mg/L

応答速度

30s/90%(試料水温度20℃以上において)

繰返し性

フルスケールの±1%

温度補償範囲

5〜50℃

試料水条件

温度

2〜50℃

圧力

0.02〜0.2MPa

流量

0.2〜0.4L/min

外部出力

アナログ出力
(測定値)

DC 4〜20mA または DC 0〜16mA 絶縁型出力 負荷抵抗 最大500Ω

接点出力
(濃度警報)

A接点出力  接点容量 DC24V, 0.1A

シリアル出力

RS-232C 1方向出力

校正方法

ゼロ

簡易ゼロ校正またはゼロ液による校正

スパン

大気校正

周囲温度・湿度

0〜45℃、85%以下

電源

AC 100V ±15%, 50/60Hz (AC 264Vまで可能)

消費電力

約50VA (AC 100Vの場合)

外形寸法

296(W)×110(H)×258(D) mm(操作部のみ)

質量

約3.4kg(操作部のみ)

操作部−センサ間 延長ケーブル長

5m(標準), 10m(オプション)

関連製品

半導体製造プロセス向超純水管理用

最高感度0.01μg/L(0.01ppb)で、極低濃度のシリカを測りたいという要求に確実にお答えします