微量フッ酸濃度モニタ HF-700

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現
エッチングプロセス後のポリマー残渣物の除去に効果的な役割を果たす硫酸・過酸化水素・微量フッ酸の水溶液では、ppmレベルのフッ酸濃度管理が非常に重要となります。HF-700を用いることで、硫酸・過酸化水素中のppmオーダーのフッ酸濃度を安定して連続測定できるため、効果的なプロセス管理を行うことができます。