HZ-960

溶存オゾンモニタ HZ-960はPost Cleaning、FEOL プロセスでのクリーニング処理、高濃度オゾン水によるレジスト剥離処理、など半導体Wet処理プロセスで使用されるオゾン水の溶存オゾン濃度モニタです。

HZ-960HPO-M

過酸化水素水モニタ HZ-960HPO-Mは半導体や太陽電池の洗浄プロセスにおいてパーテクル除去や不純物金属イオン除去に使用される過酸化水素水の濃度をモニタリングします。