溶存オゾン濃度

低濃度から高濃度まで測定範囲をカバーする溶存オゾン濃度モニタです。

半導体製造プロセスにおける洗浄、酸化膜形成等に使用されるオゾン水濃度を測定します。主配管に直接取り付けて、連続測定ができるオゾン水濃度モニタです。