半導体製造プロセス向超純水管理用

最高感度0.01μg/L(0.01ppb)で、極低濃度のシリカを測りたいという要求に確実にお答えします

シリカ分析装置 SLIA-5000

ボイラ水、純水精製設備の微量シリカを迅速に自動測定

火力、原子力発電所などで、高温・高圧の水蒸気によるタービンの駆動を効率よく行うためには、スケールの原因物質であるシリカ(SiO₂)の管理が重要です。この度、HORIBAの長年にわたる納入実績と技術ノウハウを結集し、従来の安定性・信頼性・メンテナンス性はそのままに、シリカ分析装置は新たに生まれ変わります。