高感度シリカモニタ SLIA-300

概要

最高感度0.01μg/L(0.01ppb)で、極低濃度のシリカを測りたいという要求に確実にお答えします
半導体製造プロセスで使用される超純水は、イオン交換樹脂を使うことでより高純度に精製されます。このイオン交換樹脂から溶出するシリカをいち早くキャッチすることで、製造プロセスに重要な超純水の水質を管理することができます。
堀場アドバンスドテクノは極低濃度シリカの高感度測定を可能にするため、新たに「長光路長測定セル」を開発、採用しました。さらにコンパクトなデスクトップ型をも実現、使いやすさも向上しています。
自己診断機能などの充実の基本性能と高速応答性、そして高感度という新性能で、半導体製造の純水プロセスを力強くサポートします。

特長

  • 高感度で、しかも高い繰り返し性
  • デスクトップ型のコンパクト設計
  • 試薬の消費量を1/5に削減
  • 試料水の消費量を1/2以下に削減
  • 動作異常を監視する自己診断機能
  • 自動校正により、優れた保守性を実現
  • 最大6点までの測定が可能(オプション)
  • 交換不要の半永久的光源を採用

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

形式

SLIA-300

電源

100〜240V AC  50/60Hz

設置条件

屋内 周囲温度10〜35℃ 湿度85%以下

外形寸法

580(W)×375(H)×500(D)mm

質量

1点計:約41kg(以降、測定点数1点追加に対して1kg増)

適合規格

CEマーキング、FCC Part15

※本仕様書に記載の内容は、改良のために予告なく変更することがあります。