【新製品】
フォトレジスト現像液の主成分TMAH濃度を耐薬性の高いカーボンセンサと組み合わせてワイドレンジを高精度に計測
TMAH用導電率計 HE-960TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分である、TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)溶液の導電率を高精度に測定します。