用水・純水
ポータブルDOモニタ SD-300
概要
ポータブルで高感度だから、使いやすくて高性能
半導体分野における超純水中のDO濃度の高精度測定・モニタを実現
半導体の集積度が増加する傾向から、ウエハの洗浄に用いられる超純水の水質向上が求められています。中でも、超純水に含まれる微量な溶存酸素(DO)はウエハ表面の酸化膜形成の要因といわれ、その低減要望が非常に強くなってきています。そこでHORIBAは超純水中のDO濃度を高精度・高速に測定するDO モニタSD-300を開発。高感度シリカモニタやパーティクルセンサとともにお使いいただける、超純水製造ラインでの水質モニタリングに最適な製品です。またポータブルサイズで持ち運びやすいため、どのような現場にもフィットします。
特長
- どんな現場でも使いやすいポータブルサイズ
小型、ポータブル。持ち運びやすいデザインです。 - ワイドレンジで、かつ高感度な測定を実現
測定レンジは、0〜20μg/L、0〜200μg/L、0〜2mg/L、0〜20mg/Lの4レンジから選択できます。 - 高速応答を実現
- フラットパネルを採用し、クリーンルーム内の使用にも最適
- センサは内部液交換タイプで長寿命
- アナログ・シリアル出力を標準装備
■配管接続例
製造会社: HORIBA Advanced Techno
仕様
測定対象 | 溶存酸素 | |
|---|---|---|
測定方式 | 隔膜型ポーラログラフ式 | |
測定レンジ | 0〜20μg/L , 0〜200μg/L , 0〜2mg/L , 0〜20mg/L | |
応答速度 | 30s/90%(試料水温度20℃以上において) | |
繰返し性 | フルスケールの±1% | |
温度補償範囲 | 5〜50℃ | |
試料水条件 | 温度 | 2〜50℃ |
圧力 | 0.02〜0.2MPa | |
流量 | 0.2〜0.4L/min | |
外部出力 | アナログ出力 | DC 4〜20mA または DC 0〜16mA 絶縁型出力 負荷抵抗 最大500Ω |
接点出力 | A接点出力 接点容量 DC24V, 0.1A | |
シリアル出力 | RS-232C 1方向出力 | |
校正方法 | ゼロ | 簡易ゼロ校正またはゼロ液による校正 |
スパン | 大気校正 | |
周囲温度・湿度 | 0〜45℃、85%以下 | |
電源 | AC 100V ±15%, 50/60Hz (AC 264Vまで可能) | |
消費電力 | 約50VA (AC 100Vの場合) | |
外形寸法 | 296(W)×110(H)×258(D) mm(操作部のみ) | |
質量 | 約3.4kg(操作部のみ) | |
操作部−センサ間 延長ケーブル長 | 5m(標準), 10m(オプション) | |
