ながす

マスフローコントローラは、流体（ガス・液体）の質量流量を計測し制御を行います。質量流量での計測を行うため、使用環境（温度・圧力）の補正が必要ありません。本体には、流量センサ、流量制御バルブ、フィードバック回路等を搭載し、外部より与えられる任意の流量設定信号に応じた流量を自動制御します。
堀場エステックは設立より培った高精度流量制御技術をマスフローコントローラへ融合し国産初の量産マスフローコントローラ製品化を実現しました。