安定したプロセスを行う為にはプロセス前後におけるチャンバ内の残留ガスモニタリングや正確に真空度を計測する機器が必不可欠です。堀場エステックのコンパクトプロセスガスモニタはプロセスチャンバ内の残留ガスや不純物を計測し最適なプロセスの維持、品質、歩留り向上に貢献します。また生産工程ではかかせない圧力計測・管理に堀場エステックの隔膜真空計はダイヤフラム温調によりセンサ部へのデポを軽減。チャンバ内の不純物にも耐食性に優れたNi合金ダイヤフラムを採用しているので安心です。
総合分析機器メーカ・堀場製作所の分析技術は、非分散型赤外線吸収法（NDIR法）ガス分析手法で化合物半導体、自動車、理化学機器、環境計測機器等幅広い分野で優れた実績があります。堀場エステックのガス濃度モニタはこのノウハウを製品に応用しています。
標準ガス発生機で培った技術をベースに汎用性と高精度を兼ね備えたガス流量計精密膜流量計は本体体積管ユニットに搭載されたガラス管中に石鹸膜を作り、導入ガスによって石鹸膜が移動する時間を計測、マイコンにより自動補正を施す製品です。
