電子デバイス、エネルギー、新素材、自動車、医薬品、食品等の機能性コーティングプロセスにおける研究開発、品質管理から生産工程までをサポートする計測・制御技術及び分析・解析技術を展示いたします。

出展製品のご案内

 

キャパシタンスマノメータ
VG-200 Series 

オールメタル、自己温調型では最小クラス* のキャパシタンスマノメータです。
独自の電極構造により、高安定性を実現しています。

  

 

デジタルマスフローコントローラ
SEC-N100 Series

ニーズに合った多様な通信方法をラインアップしたマスフローコントローラです。
1000SLMまでの大流量に対応しています。

    

 

コンパクトプロセスガスモニタ
MICROPOLE System 

世界最小クラス* の四重極分析計です。
チャンバ内の不純物や残留ガスを計測し、品質・歩留りの向上に貢献します。

   

 

ダイレクトインジェクションシステム
VAPBOX Series

混合材料気化や大気圧プロセス向けのミスト供給も可能です。

 

プラズマエミッションコントローラ
RU-1000

プラズマの発光状態をモニタリングし、マスフローコントローラをフィードバック制御することにより、成膜の高速化、安定化に貢献します。

 

 

プラズマ発光モニタ
EV-140C

プラズマ状態の分析からプロセス管理までを実現することでプロセスの最適化、歩留りの向上に貢献します。
  

 

非接触放射温度計
IT-470F-H 

多様な独自技術を集約することにより、業界最高精度*
の温度計測を実現しています。

 

*当社調べ(2016年12月現在)

 

分光エリプソメータ
Auto SE

1nm~15μmの膜厚に対応。マイクロスポット搭載により25×60μm角の微小領域が測定できます。

 

 

グロー放電発光表面分析装置
GD-Profiler2

H~Uまで、迅速な深さ方向元素分析が可能。表面処理などnmオーダーの極薄膜から、100μmまでの膜厚に対応できます。

   


HORIBAブース