クリーンルーム内の極微量アンモアガス濃度計測装置、本格販売

2008年8月29日


300ミリ時代の生産性向上を支援
半導体クリーンルーム内露光工程の
極微量アンモニアガス濃度をリアルタイム計測
来月から本格販売

当社は、米国のレーザー分光法を用いた微量ガス分析機器メーカである ピカロ社(*1)と共同開発し販売してきた、半導体クリーンルーム内露光工程の、サブppbオーダーと極微量のアンモニアガス濃度をリアルタイム計測(*2)する装置の本格販売を開始します。

来月9月に、最大16箇所を1台で計測する多点仕様を新たに投入します。

300ミリ量産時代に入り、更なる微細化が進むなか、クリーンルーム内露光工程では、極微量の化学物質による影響が品質や歩留まりを左右するため管理監視が厳しくなってきています。極微量アンモニアガス濃度をリアルタイムで計測する装置を、国内唯一企業の当社は、半導体工場の生産性向上・品質向上に装置を通じて貢献していきます。

当社は、2003年より米国ピカロ社と、半導体・FPD関連市場における露光工程で需要の見込まれる、微量アンモニアガスモニタ〈CG-1000型〉の開発及び評価を共同で行ってきました。
この製品は、CRDS方式(*3)を採用することで、検出下限として0.1 ppbを実現すると共に、リアルタイム計測という顧客ニーズに対応した装置です。

CRDSの分析ユニットをピカロ社が製作し、専用のサンプリングシステムの製作及び、システムアップを当社が行い、「HORIBA」ブランドとして全世界へ販売しています。
これまでの販売実績としては、研究・開発ライン向けに行ってきましたが、この度、生産工程での管理・モニタリング向けに、最大16箇所のマルチチャンネル仕様を新たにラインナップに加えました。研究分野に加えて生産ライン向けも品揃えすることを機に、当社の全世界の半導体・FPD関連市場における販売ネットワークを活用し、本格的な販売を行っていきます。

参考資料

(*1) ピカロ (Picarro) 社:
ピカロ社は、米国カリフォルニア州にて、最高感度、精度、正確さを兼ね備えた、微量ガス計測用の機器を専門に開発している企業です。同社は、波長スキャンキャビティリングダウン分光技術 (WS-CRDS) のリーダー企業で、スタンフォード大学より8特許の独占的使用を認められており、またWS-CRDS技術で9個の特許を取得しています。

(*2) 極微量のアンモニアガス濃度をリアルタイム計測:
半導体製造工程の中の露光工程では、露光装置内のレンズ表面の曇りやマスク表面の生成異物 (Haze) の原因物質のひとつとされている微量アンモニアガスを厳密に管理したいというニーズがあります。近年、ますます微細化が進むなか、極微量成分の監視、コントロールは、品質管理・生産性向上に不可欠な時代に入っています。

(*3) CRDS方式:
Cavity Ring Down Spectroscopy(キャビティーリングダウン吸収分光法)とは、レーザ光を高反射率のミラーを用いた光学キャビティーに閉じこめ、そのキャビティから漏れてくる光の減衰時間を観測することで、キャビティー内のガス濃度を計測します。
ピカロ社は、独自のCRDS方式の開発を行っており、レーザー光により光路長が1 km以上も得られることから、サブppbレベルの極低濃度の検出を可能にするとともに、高精度・安定性に優れた分析機器の開発を行っています。


●CG-1000の主な特長
( http://www.jp.horiba.com/semicon/cg-1000/ex.htm)
超高感度 0.1ppb
コンパクト設計ながら、1 km以上にも及ぶ長い有効光路長が得られる事から、検出下限0.1 ppbを実現しました。
リアルタイム測定
5秒毎の濃度出力が可能で、アンモニアガスのリアルタイム測定を実現しました。
簡単操作
サンプル配管の接続と電源オンだけで、測定スタート。簡単操作を実現しました。
低ランニングコスト
キャリアガスやカラム交換などのユーティリティーが不要なため、ランニングコストが少なくて済みます。
●用途
露光工程エリアの雰囲気モニタリング
各種製造装置内の雰囲気モニタリング
ケミカルフィルターの破過モニタリング

●主な仕様(1点/16点共通)
測定対象 クリーンルーム内大気中の微量アンモニアガスの測定
測定原理 CRDS方式
     (Cavity Ring Down Spectroscopy方式)
測定レンジ 0-500 ppb
検出下限 0.1ppb以下
外形寸法(架台) 600 (W) × 835 (D) × 840 (H) mm
質量 110 kg

●16点マルチチャンネルタイプの仕様
測定チャンネル毎の測定条件の設定及びレシピ設定機能、任意の濃度表示機能など管理フィールドに適しています。
測定チャンネル数 最大16点
ガスサンプリング用配管距離 最大100 m
外形寸法(架台) 570 (W) × 800 (D) × 1830 (H) mm
質量 200kg