京都北部中核工業団地で初の研究専用施設が竣工

2013年12月 3日


京都北部中核工業団地で初の研究専用施設が竣工

HORIBAグループの半導体事業の主軸を担う堀場エステック(社長:堀場 厚、本社:京都市)は、京都北部中核工業団地の工業用地に、今春に着工した当社初の研究専用施設「堀場エステック京都福知山テクノロジーセンター」が完成を迎え、本日竣工式を執り行いました。半導体製造装置用のガス・液体制御機器(マスフローコントローラー)をはじめ、次世代ハイテク材料の制御機器の開発などを行う研究専用施設として運用を開始します。同施設には、当社初となる防爆構造の実験棟(平屋)および京都本社の高精度ガス流量計測設備や製品開発用実験設備の一部を移設する事務・実験棟(鉄筋2階建て)を開設します。設備含む総投資額は10億円。

なお、本拠点の建設は、京都府(京都産業立地戦略21特別対策事業補助制度)および福知山市(福知山企業誘致促進条例奨励金制度)の支援を受け、補助金約7,900万円の対象に認定されています。

当社初の研究専用施設を開設する背景

最先端の半導体プロセスでは、半導体チップの高性能化、小型化と共に生産効率の向上を目指した研究が行われています。主な研究のひとつに、シリコンウエハ上に積層する薄膜特性の改良を目的に、ハイテク材料を用いた研究が行われています。当社では最先端の研究を行う半導体メーカーや半導体製造装置メーカー各社より”ハイテク材料を正確に安定した流量制御が行える機器”の製品化要求を受け共同開発を行っています。地元京都府産業立地課と相談させていただき、今春福知山市の工業団地「京都北部中核工業団地」に土地を取得し、『堀場エステック京都福知山テクノロジーセンター』を建設していました。

堀場エステック京都福知山テクノロジーセンターの概要

今春に取得した6,256平方メートルの土地に、当社初となる防爆構造の実験棟(平屋)および京都本社の高精度ガス流量計測設備や製品開発用実験設備の一部を移設する事務・実験棟(鉄筋2階建て)を建設しました。気体流量・液体流量・圧力の国家標準と国際標準とのトレーサビリティーの確立を行います。これまで長年自社で培ってきた流体計測・制御技術を用い、国家標準である産業技術総合研究所の特定標準器とトレーサブルな特定二次標準器、生産製品の流量校正に使用する実用標準器の自社開発を行います。同時に計量法に基づく校正事業者(JCSS)、国際相互承認(MRA) の認定取得をめざします。トレーサビリティーの確立により、弊社製品の更なる信頼性の向上を行い、流体計測・制御技術の基礎技術開発を行います。

建屋構造

防爆構造の実験棟

鉄骨平屋

事務・実験棟

鉄骨2階建て

建屋面積

防爆構造の実験棟

155平方メートル

事務・実験棟

658平方メートル

延べ床面積

防爆構造の実験棟

154平方メートル

事務・実験棟

1,133平方メートル