太陽電池パネル生産ライン向けの小型残留ガス分析計を発売

2009年3月13日


残留ガス分析計

堀場エステック 残留ガス分析計

堀場エステックは、新製品として太陽電池パネルの生産ライン向けの小型残留ガス分析計を発売いたします。
残留ガス分析計は半導体・液晶パネルの生産ラインに用いられる真空チャンバー内に残留している微量の不純物をリアルタイムに計測します。薄膜形成のプロセスを行う前に真空チャンバー内の状態を確認・分析する事により最適な状態でのプロセスが行え、半導体デバイス・液晶パネルの品質向上、生産性向上を目的に使用されています。
近年、急速に成長している太陽電池パネル生産においても基板上に形成する薄膜品質の向上を目的に、残留ガス分析計の要求が増えています。新規導入される製造装置のみならず既存装置への導入も検討されています。特に低価格化、小型化と共に操作に際して専門知識を必要としない簡便性のある残留ガス分析計が望まれ、これら顧客ニーズに応えるモデルとして新型残留ガス分析計を本年3月20日より発売致します。

製品の詳細

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