堀場エステックでは気体・液体の精密計測・制御機器をはじめ真空計測・分析、液体気化システムなど、半導体デバイス、液晶ディスプレイ、太陽電池パネルなどに関わる総合的な流体制御機器をラインアップしています。

純水をはじめとした液体(材料)を連続・安定気化できるシステムをラインアップしています。腐食性・毒性を有数液体材料の気化システムを多数納入しています。

世界最小クラスの四重極質量分析を用いた残留ガス分析計や赤外吸収法を用いたインラインガスモニタをラインアップしています。

混合器ガス発生器MUシリーズ:発生するガス成分に応じたマスフローコントローラを搭載し、簡単操作で混合ガスを発生できます。

応用システム:堀場エステック独自の流体制御技術によりお客様の研究や生産システムをサポートいたします。



気体・液体の質量流量制御を行う機器です。外部制御機器からの流量制御信号を受け、使用環境の変化影響を受けず、流体の精密流量制御を行います。

主力製品であるマスフローコントローラで築いた技術力を応用したデジタル制御のラインレギュレータや排気圧コントローラなど各種圧力制御機器をラインアップしています。

マスフローコントローラのご説明の他、多様な市場でご採用頂いている事例をご紹介いたします。


HORIBA 半導体セグメント 製品リスト