ガス・液体は幅広い産業でご使用されています。特に半導体デバイスや液晶ディスプレイ、LED、太陽電池パネルなどは様々な特性を持つ「流体:ガス・液体」が数多く用いられ生産されています。このような場面では流体の流量を正確に計測・制御する機器性能が生産効率を左右します。当社は設立以来培った「流体制御技術」を更に発展し、幅広い産業でご使用頂き、生産性の向上に貢献します。

液体 精密流量計測

液体材料気化システム

気体 圧力制御

残留ガス分析計

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差圧検出方式PIマスフローモジュール CRITERION D200 series