ガス混合・供給ユニット

複数ガスの濃度制御、レシピ運転など、マスフローコントローラを組み合わせたガス供給をシステムとして提供します。
ガス供給系の設計や構築でお困りの場合もご相談ください。

MU-2200
MU-2200

2成分ガス混合装置

MU-3000
MU-3000

多成分ガス混合装置

CU-2130
CU-2130

コントロールユニット

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