堀場エステックではご使用される液体材料に最適な発生システム・自動供給システムをご提案し、総合的なサポートを行います

液体材料気化システム

インジェクションシステム

液体材料気化システム MV-2000シリーズ

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

ダイレクトインジェクション VC Series

ノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。

ベーキングシステム

コンパクトベーキングシステム LSC Series

液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。

ベーパライザ

LE Series

過酸化水素の大流量気化供給が可能。

パルスインジェクション(混合材料・ミスト供給など)

アドバンスドダイレクトインジェクションシステム VAPBOX Series

独自のパルスインジェクションによる気化・霧化技術と最適化されたヒーティングチャンバにより、高信頼性と高い再現性を持った液体材料気化システム。低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい液体材料等の気化が可能です。

液体材料自動供給システム

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA POCl3自動供給システムは、高い生産性、コスト削減、プロセス安定性、高い安全性、信頼性を実現しています。

 

オートリフィルシステム LU series

液体材料を「安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム

液体マスフローコントローラ&メータ

液体デジタルマスフローメータ XF-100 Series

差圧方式の採用により、100msecの高速応答を実現した液体用マスフローメータ。液体材料の使用量低減に貢献します。

液体微小デジタルマスフローメータ/コントローラ LF-F/LV-F series

冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ&メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。

小型液体流量計

小型液体流量計 流量センサ VL Series

対象液体:水(水道水)
流量範囲:0.05〜60l/min

小型液体流量計 流量センサ VL-S Series

対象液体:苛性ソーダ/次亜塩素酸ソーダ
流量範囲:0.01〜60l/min

LW,LD

接線流羽根車方式を採用した小型液体流量計です。

LM-W LM

楕円ギア方式を採用した小型液体流量計です。

液体からガス「気化」へ

液体制御のエキスパートとして最適な気化システムを総合的にご提案します。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社堀場エステック
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075-693-2312