半導体デバイスの高性能化に伴い、多層化・微細化技術が進化し、薄膜材料となる「液体材料」が注目されています。当社ではご使用される液体材料に最適な発生システム・自動供給システムをご提案し総合的なサポートを行います。
液体微少マスフローコントローラ：計測原理について
液体材料気化システム：気化原理について
