コンパクトベーキングシステム LSC Series

概要

純水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供給するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給し、長時間の連続発生を可能としています。

特長

  • 微少流量から大流量まで、安定した液体材料気化が可能です。
  • 高温状態のガスでも流量制御可能なマスフローコントローラを搭載しています。
  • 気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給することで、長時間の連続発生を可能としています。
  • 液体材料と気化流量、発生条件に合うシステムの提案を行います。また、生産設備組込タイプなどの対応も行っています。お気軽にお問合せください。

液体材料気化システムをトータルにサポート

プロセスに応じた液体材料気化システム(インジェクション方式、ベーキング方式)へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。

液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給


製造会社: HORIBA STEC

仕様

発生流量

H2O 2SLM、TEOS 600SCCM(max)

使用圧力

max:1.33kPa

ソースタンク容量

2.7L

温調方式

温調器によるPID制御

液面検出方法

フロートスイッチ

内蔵
マスフローコントローラ

SEC-8400シリーズ

空圧弁

ベローズタイプ、ダイヤフラムタイプ

接液・ガス部材質

SUS-316L、PA

使用周囲温度

20〜35℃

外部入力

空圧弁開閉
マスフローコントローラ流量設定信号(0〜5VDC/0〜100%F.S.)
非常停止信号、オートゼロ信号(オプション)

外部出力

本体予熱完了信号温度アラーム液レベルH.H.アラーム
液レベル信号(H、M、L)
マスフローコントローラ流量出力信号(0〜5 VDC/0〜100%F.S.) 恒温槽内部ファン停止アラーム
バルブ電圧モニター(オプション)

電源

AC 100 V 単相50/60 Hz 1.5 kVA

その他

オートリチャージシステム:LUseriesとの接続が可能です。

外形寸法図・他(単位:mm)

外形寸法図
基本フロー

アプリケーション

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティングなど
  • 一般産業:雰囲気ガス制御、混合ガス発生 など
  • 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器 など
  • ラボ:各種実験用ガス流量制御機器 など

液体材料気化システムをトータルにサポート

プロセスに応じた液体材料気化システム(インジェクション方式、ベーキング方式)へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。

液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給

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