LSC Series

Compact Baking System LSC series

コンパクトベーキングシステム

純水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供給するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給し、長時間の連続発生を可能としています。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control System
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

 

  • 微少流量から大流量まで、安定した液体材料気化が可能です。
  • 高温状態のガスでも流量制御可能なマスフローコントローラを搭載しています。
  • 気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給することで、長時間の連続発生を可能としています。
  • 液体材料と気化流量、発生条件に合うシステムの提案を行います。また、生産設備組込タイプなどの対応も行っています。お気軽にお問合せください。

 

 

 

発生流量H2O 2SLM、TEOS 600SCCM(max)
使用圧力max:1.33kPa
ソースタンク容量2.7L
温調方式温調器によるPID制御
液面検出方法フロートスイッチ
内蔵
マスフローコントローラ
SEC-8400 Series
空圧弁ベローズタイプ、ダイヤフラムタイプ
接液・ガス部材質SUS-316L、PA
使用周囲温度20〜35℃
外部入力空圧弁開閉
マスフローコントローラ流量設定信号(0〜5VDC/0〜100%F.S.)
非常停止信号、オートゼロ信号(オプション)
外部出力本体予熱完了信号温度アラーム液レベルH.H.アラーム
液レベル信号(H、M、L)
マスフローコントローラ流量出力信号(0〜5 VDC/0〜100%F.S.) 恒温槽内部ファン停止アラーム
バルブ電圧モニター(オプション)
電源AC 100 V 単相50/60 Hz 1.5 kVA
その他オートリチャージシステム:LU seriesとの接続が可能です。

 

 

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
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Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
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