HORIBA STECは、液体材料気化システム構築のための基幹技術と世界標準の設備を保有。統合マネジメントシステム（IMS）の導入で徹底した品質管理を図るとともに、環境面にも配慮した
製品開発・生産を行っています。しかも、引き合いにはじまり、打ち合わせ、仕様書作成、設計、検証、生産、出荷検査、据付、定期メンテナンスまでの工程の随所に、長年蓄積した経験とノウハウをプラスしてご提案。お客様固有のご要望に、万全の体制でお応えします。
ご提案から設計段階のフロー
コンサルティング
▼使用条件に合った気化原理の選択、法規・安全規格対策をはじめ、お客様固有の問題に対する解決策の提案および機器のシステムアップなど、専任スタッフによるコンサルティングでお客様のご要望に確実にお応えします。
設計
▼3DCADシステム、基板設計システムを保有。安全基準に対する知識も備えた専任の社内スタッフが設計を実施します。
▼装置設計に加え、使用する液体材料等のコンサルティングも行います。
▼半導体での経験をベースに、最適な材料・部材・パーツを選定。HORIBA STECは液体材料気化システムにおいて数多くの納入実績があり、設計段階においても高いレベルにあります。
検証
▼液体材料の気化は、経験値のみでは現場でトライ・エラーを起こす可能性があります。これを回避するためにHORIBA STECでは、解析システム（CAE）によりシミュレーションを実施。新規要素の検証を行います。
▼SiCl4など使用液体での実験が困難な場合は、最適な代液による検証を行い、気化データを取得します。
▼設計・検証のステップを踏むことで、用途に応じた設計を行うことができます。
▼あらかじめ気化性能の事前評価を行うため、納品後の性能評価作業を低減。立ち上げ時間も短縮できます。
▼検証はHORIBAの分析センターで、分析を熟知したスタッフが実施。精度の高い検証結果が得られます。
生産段階のフロー
▼現場経験が豊富なHORIBA STECのスタッフが生産を担当。高い品質を実現します。
▼お客様の使用環境に応じた生産エリアを確保。クリーンルームでの対応も可能です。
▼マスフローコントローラをはじめレギュレータ・インラインガス濃度モニタも自社製であるため、使用条件に合せた確実な調整が行えます。
クリーンルーム
据付、保守点検
▼複合製品の納入・立ち上げを実施します。
▼据付に際しては、必要であれば設計者が立ち会い、装置のコンセプトとお客様のご要望に合致した気化システムをお届けします。
▼装置の説明や運用に対するアドバイスなど、お客様への様々なサポート態勢を整えています。
▼定期的な保守メンテナンスへの対応はもちろん、万一のトラブルなどにもHORIBA STECのスタッフが素早く対応します。
HORIBAグループは品質ISO、環境ISOに労働安全衛生のOHSAS18001を加え、これらをひとつのシステムで運用する統合マネジメントシステム（IMS）を構築しています。真の高品質企業として、全てのシーンにおける高品質な価値の創造を目指します。
▼出荷検査のみならず全てのプロセスで徹底した品質管理を実現しています。
▼デザインレビュー（製品・部品）を介して各担当責任者が意見を出し合い、品質のさらなる向上に努めています。
▼独自の品質保証システムを構築し、徹底した品質管理を実施。Copy Exactly & Change Controlの要求にも対応します。
▼IMSを運用するための基礎作りとして、ISOの認証に積極的に取り組んでいます。
流体制御のエキスパートとしてのHORIBA STECはその固有技術にいっそうの磨きをかけるとともに、HORIBAグループ全体のリソースを最大限に有効活用し、市場における様々な要求に確実にお応えしています。
堀場エステックだからできること