最先端技術が結集され生産される半導体デバイス。そのプロセスのキーパーツとして称される当社のマスフローコントローラは優れた性能と高信頼性により世界市場から圧倒的な支持を頂いています。日米のR&Dセンターの開設など常に最先端分野に対応する製品開発を行っています。

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残留ガス分析計 MICROPOLE TM System
差圧検出方式PIマスフローモジュール CRITERION D200 series