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マスフローコントローラ


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マスフローコントローラ

アナログ/デジタル通信兼用のマスフローコントローラ

SEC-Z500X Series

ガス種・流量レンジの変更ができる機能を搭載したモデル

SEC-N100 Series

ワイドな流量制御範囲、選べる通信方式を持つ汎用モデル

最先端プロセスを支えるマスフローモジュール

D700uF

微細加工プロセスおける小流量域の制御に特化した高性能モデル

 

D700T

独創的で高度な流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載した高性能モデル

D700MG

100msecの高速応答と低流量での高精度を実現した高性能モデル

D700WR

ワイドレンジ制御と低流量での高精度を実現した高性能モデル

DZ-100 Series

10mm幅の最先端プロセス向け高性能モデル

D500 Series

差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能モデル

SEC-Z700X Series

PI 性能を搭載した高性能モデル

SEC-Z700S Series

精度、再現性、応答性能、パーティクルレスを備えた高性能モデル

ベーシックかつコンパクトモデルで幅広い産業に対応のマスフローコントローラ

SEC-E Series

サーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載した高精度なモデル

MF-C Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

S48 Series

生産設備から各種実験・評価システムに最適なエコノミーモデル

高温環境対応のマスフローコントローラ

SEC-8000F/D/E Series

高温環境(120℃)までの環境で使用できる高温対応モデル

防塵・防滴対応のマスフローコントローラ

red-y industrial Series

悪環境下でも使用可能な防塵・防滴対応モデル

基盤の大型化や緻密な供給制御に対応を可能とするガス分配ユニット

FS-3000 Series

プロセスガスを任意の比率に分配するフロースプリッター

マスフローメータ

アナログ/デジタル通信兼用のマスフローメータ

SEF-Z500X Series

ガス種・流量レンジの変更ができる機能を搭載したモデル

SEF-N100 Series

ワイドな流量制御範囲、選べる通信方式を持つ汎用モデル

ベーシックかつコンパクトモデルで幅広い産業に対応のマスフローメータ

SEF-E Series

サーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載した高精度なモデル

MF-F2 Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル

S48M Series

生産設備から各種実験・評価システムに最適なエコノミーモデル

red-y compact Series

駆動電源不要の手のひらサイズモデル

高温環境対応のマスフローメータ

SEF-8000F/D/E Series

高温環境(120℃)までの環境で使用できる高温対応モデル

マスフローコントローラ

SEC-Z500X Series

流量レンジ:1SCCM~500SLM

SEC-N100 Series

流量レンジ:10SCCM~1000SLM

SEC-8000F/D/E Series

流量レンジ:5SCCM~150SLM

SEC-400 Series

流量レンジ:10SCCM~200SLM

SEC-E Series

流量レンジ:10SCCM~200SLM

MF-C Series

流量レンジ:500mL/min~100L/min

S48 Series

流量レンジ:10SCCM~200SLM

red-y industrial Series

流量レンジ:25mL/min~450L/min

マスフローメータ

SEF-Z500X Series

流量レンジ:1SCCM~500SLM

SEF-N100 Series

流量レンジ:10SCCM~1000SLM

SEF-8000F/D/E Series

流量レンジ:5SCCM~150SLM

SEF-400 Series

流量レンジ:10SCCM~200SLM

SEF-E Series

流量レンジ:10SCCM~200SLM

MF-F2 Series

流量レンジ:500mL/min~1000L/min

S48M Series

流量レンジ:10SCCM~200SLM

red-y compact Series

流量レンジ:50mL/min~450L/min

マスフローコントローラ

MF-C Series

希望販売価格(税抜):¥80,000~

SEC-400 Series

希望販売価格(税抜):¥98,500~

SEC-E Series

希望販売価格(税抜):¥99,500~

S48 Series

希望販売価格(税抜):¥102,000~

SEC-N100 Series

希望販売価格(税抜):¥218,000~

SEC-Z500X Series

希望販売価格(税抜):¥380,000~

red-y industrial Series

希望販売価格(税抜):¥384,000~

SEC-8000F/D/E Series

希望販売価格(税抜):¥470,000~

マスフローメータ

MF-F2 Series

希望販売価格(税抜):¥50,000~

S48M Series

希望販売価格(税抜):¥92,000~

SEF-400 Series

希望販売価格(税抜):¥143,000~

red-y compact Series

希望販売価格(税抜):¥147,000~

SEF-E Series

希望販売価格(税抜):¥150,000~

SEF-N100 Series

希望販売価格(税抜):¥184,000~

SEF-Z500X Series

希望販売価格(税抜):¥265,000~


ご使用の条件に応じたアクセサリをご用意しています。